無(wú)油真空泵常見(jiàn)應用領(lǐng)域
產(chǎn)品說(shuō)明:
無(wú)油真空泵又名無(wú)油干式真空泵,屬于干式真空泵,(又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機械泵)
從上一次的峰會(huì ),到近日的國家兩會(huì ),走在提出:低碳、環(huán)保。節能的環(huán)保理念。油潤滑真空泵的使用會(huì )排出一定的二氧化碳和廢氣。在真空行業(yè)中,我們都建議使用干式泵
工作原理
無(wú)油真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子,偏心地安裝在定缸內,當轉子高速旋轉時(shí),轉子槽內四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室,由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,把定子進(jìn)排出口分離開(kāi)來(lái),周而復始運轉,進(jìn)行變容,將吸入氣體,從排氣口排出,從而達到抽氣目的
無(wú)油真空泵常見(jiàn)應用領(lǐng)域:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿(mǎn)足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無(wú)油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
東莞比其爾KEKEER供應中國臺灣進(jìn)口BKV無(wú)油真空泵,小型真空泵:
BKV-140V/H、BKV-180V/H、BKV-200V/H BKV-230V/H
BKV-0010、BKV0021、BKV0025、BKV0040、BKV0063、BKV0100、BKV0160、BKV0202、BKV0250、BKV0302、BKV0305 、BKV1-P-V-**、BKV3-P-V-**、BKV5-P-V-**、BKV6-P-V-**、BKV7A-P-V-** 。更多型號請我司。